| 发明名称 | 碟片原版制作方法 | ||
| 摘要 | 本发明是关于一种碟片原版制作方法，其是包括在一基板上进行干式清洗、涂布一光阻层在基板之上、激光刻版并显影光阻层、以及形成一金属层于光阻层。因依本发明的碟片原版制作方法，是在光阻涂布前进行干式清洗基板。利用电浆进行基板的干式清洗，不需要利用大量的水资源来进行清洗，即可使得原来附着在基板上的污染物被清除，以利光阻层的涂布，故能节省宝贵的水资源。而且，利用干式清洗并不会使得基板的表面带电荷，故可减少基板再次吸附污染物质。除了污染物质被去除可提升基板与光阻层之间的接合能力之外，利用电浆干式清洗也可使基板的表面稍微变得粗糙，故也能提升基板与光阻层之间的接着(adhesion)能力。 | ||
| 申请公布号 | CN100373489C | 申请公布日期 | 2008.03.05 |
| 申请号 | CN200510005232.7 | 申请日期 | 2005.02.01 |
| 申请人 | 精碟科技股份有限公司 | 发明人 | 蔡正原 |
| 分类号 | G11B7/26(2006.01);G03F1/00(2006.01) | 主分类号 | G11B7/26(2006.01) |
| 代理机构 | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 | 代理人 | 寿宁;张华辉 |
| 主权项 | 1.一种碟片原版制作方法，其特征在于其包括以下步骤：在一基板上进行干式清洗；涂布一接着剂在该基板上；涂布一光阻层在该基板之上；激光刻版并显影该光阻层；以及形成一金属层于该光阻层。 | ||
| 地址 | 中国台湾 | ||