| 发明名称 | 非易失性半导体存储装置及其制造方法 | ||
| 摘要 | 能够实现微细化·大容量化，同时还能够得到对短沟道效应有很强抵抗力的存储器。具有：形成在半导体衬底上的第1绝缘膜；夹着上述第1绝缘膜地形成在上述半导体衬底上的半导体层；将多个具有形成在上述半导体层上的栅绝缘膜、形成在上述栅绝缘膜上的浮栅、形成在上述浮栅上的第2绝缘膜、形成在上述第2绝缘膜上的控制栅的存储单元晶体管串联而构成的NAND列；形成在上述NAND列一端的具有杂质扩散层的源极区域；以及形成在上述NAND列另一端的具有金属电极的漏极区域。 | ||
| 申请公布号 | CN101136414A | 申请公布日期 | 2008.03.05 |
| 申请号 | CN200710148119.3 | 申请日期 | 2007.08.28 |
| 申请人 | 株式会社东芝 | 发明人 | 木下敦宽;渡边浩志;荒井史隆 |
| 分类号 | H01L27/12(2006.01);H01L21/84(2006.01) | 主分类号 | H01L27/12(2006.01) |
| 代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人 | 王以平 |
| 主权项 | 1.一种非易失性半导体存储装置，其特征在于，具有：形成在半导体衬底上的第1绝缘膜；夹着上述第1绝缘膜地形成在上述半导体衬底上的半导体层；将多个具有形成在上述半导体层上的栅绝缘膜、形成在上述栅绝缘膜上的浮栅、形成在上述浮栅上的第2绝缘膜、形成在上述第2绝缘膜上的控制栅的存储单元晶体管串联而构成的NAND列；形成在上述NAND列一端的具有杂质扩散层的源极区域；以及形成在上述NAND列另一端的具有金属电极的漏极区域。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||