分配装置

摘要

本发明提供一种分配装置。该分配装置包括：喷嘴，接收来自存储液体的注射器的液体，并在相对于基板相对移动的同时将液体排出在基板上；排出阀单元，控制从注射器供应至喷嘴的液体的流动，从而控制液体的排出；以及恒压单元，其使得液体以预定量从喷嘴排出，该恒压单元包括：调节器，用于接收气体，并将气体的压力值调节至预定值；以及压力校正单元，如果气体的压力值大于预定值，该压力校正单元用于排出由调节器供应的气体，而如果气体的压力值等于或小于预定值，该压力校正单元用于将气体输送到注射器，从而使得待供应至注射器的气体的压力误差最小化。

主权项

1.一种分配装置，包括：喷嘴，接收来自存储液体的注射器的液体，并在相对于基板移动的同时将所述液体排出到所述基板上；排出阀单元，控制待从所述注射器供应至所述喷嘴的液体的流动，从而控制所述液体的排出；以及恒压单元，其使得液体以预定量从所述喷嘴排出，所述恒压单元包括：调节器，用于接收气体，并将所述气体的压力值调节至预定值；以及压力校正单元，如果所述气体的所述压力值大于所述预定值，所述压力校正单元用于排出由所述调节器供应的所述气体，而如果所述气体的所述压力值等于或小于所述预定值，所述压力校正单元用于将所述气体输送到所述注射器，从而使得待供应至所述注射器的气体的压力误差最小化。