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发明名称
摘要
申请公布号 JP4056684(B2) 申请公布日期 2008.03.05
申请号 JP20000228806 申请日期 2000.07.28
申请人 发明人
分类号 H01L21/20;H01L21/268 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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