晶粒拾取分类装置

摘要

一种晶粒拾取分类装置，其设置有多个承盘收集架，且每个承盘收集架分别对应至不同的晶粒品质类别。吸附头拾取相同品质类别的晶粒至承盘内；当承盘装满时，则通过承盘运输模块运送至相对应的承盘收集架中。藉此，可以连续不间断地拾取不同品质类别的晶粒至相对应的承盘收集架中，直到所有晶粒都拾取完毕。本发明可增加拾取分类的效率，且可避免混晶问题。

主权项

1.一种晶粒拾取分类装置，其特征是，包含：一晶圆拾取平台，用以承载一已经测试分类且切割的工作中晶圆，并可以作水平方向的移动调整；一晶圆取放控制模块，用以取放该晶圆；一吸附头，用以吸取该晶圆中的晶粒；至少一承盘，用以接纳来自该吸附头所吸取的晶粒；数个承盘收集架，分别对应不同的晶粒品质类别；及一承盘运输模块，用以运送该承盘，并将装满晶粒的该承盘运送至相对应的该承盘收集架中。