一种束源炉断电或误操作用的保护系统、构建方法及应用

摘要

本发明涉及一种束源炉断电或误操作用的保护系统、构建方法及应用，包括在多种可能的断电或误操作状态下对各种型号规格的束源炉及其坩埚进行有效保护的系统以及相关部件的参数确定的规则。本发明提供的保护系统包括三个子系统，分别是用于断电或误操作状态下对束源炉进行短时间或缓慢降温的储能电源；对束源炉的工作状态进行自动切换和对蓄电池进行充电控制的充电控制以及作为充电电源的AC/DC变换器。它或用于各类分子束外延设备或适用于其他在断电及误操作状态下需要保证有关高温部件缓慢降温的系统。具有系统结构简单，高的可靠性及成本较低，接入方便，对原有系统无不良影响等特点。是一种普适的系统，具有很好的通用性。

主权项

1.一种用于束源炉断电或误操作的保护系统，其特征在于所述的保护系统包括三个子系统，它们是用于断电或误操作状态下对束源炉进行短时间恒温或缓慢降温的储能电源；对束源炉的工作状态进行自动切换和对蓄电池进行充电继电控制的自动切换和充电控制子系统以及作为充电电源的AC/DC变换器；其中变换器的AC端外接交流电源，变换器的DC端与自动切换和充电控制子系统相连接，储能电源则与自动切换和充电控制子系统的继电控制部分相连接。