| 主权项 |
1.一种晶圆容器,包括: 外壳部份,至少具有顶部、底部、一对相对侧部、 背部、开启前部、及封闭该开启前部之门,该门包 括: 门底盘;及 至少一第一锁存机构,该锁存机构包括: 至少一第一锁存臂;及 可旋转启动构件,被联结至该锁存臂,该可旋转启 动构件具有实质上沙漏型之凸键槽,适用于接受一 凸键,如此当该凸键插入该凸键槽时,该可旋转启 动构件可藉由给予该凸键一转动而旋转。 2.如申请专利范围第1项之容器,其中该实质上沙漏 型之凸键槽具有一对相对侧部及一对相对末端,该 相对之成对侧部各自具有被装设在二向外斜角部 份之间的中心部份,且该中心部份实质上被定向垂 直于该相对末端。 3.如申请专利范围第1项之容器,其中该实质上沙漏 型之凸键槽具有一对相对侧部,该对相对侧部各自 具有向内导向之凸面形状。 4.如申请专利范围第1项之容器,其中该实质上沙漏 型之凸键槽具有一对相对侧部,该对相对侧部各自 具有向内导向之背斜形状。 5.如申请专利范围第1项之容器,其中该凸键槽系由 耐磨材料所形成。 6.如申请专利范围第1项之容器,其中该凸键槽系由 导电性材料所形成。 7.一种晶圆容器,包括: 外壳部份、至少具有顶部、底部、一对相对侧部 、背部、开启前部、及封闭该开启前部之门,该门 包括: 门底盘;及 至少一第一锁存机构,该锁存机构包括: 至少一第一锁存臂;及 可旋转启动构件,被联结至该锁存臂,该可旋转启 动构件具有实质上沙漏型之凸键槽,适用于接受一 凸键,如此当该凸键插入该凸键槽时,该可旋转启 动构件可藉由给予该凸键一转动而旋转,该实质上 沙漏型之凸键槽具有一对相对侧部及一对相对末 端,该相对之成对侧部各自具有被装设在二向外斜 角部份之间的中心部份,且该中心部份实质上被定 向垂直于该相对末端。 8.如申请专利范围第7项之容器,其中该凸键槽系由 耐磨材料所形成。 9.如申请专利范围第7项之容器,其中该凸键槽系由 导电性材料所形成。 10.一种晶圆容器,包括: 外壳部份,至少具有顶部、底部、一对相对侧部、 背部、开启前部、及封闭该开启前部之门,该门包 括: 门底盘;及 至少一第一锁存机构,该锁存机构包括: 至少一第一锁存臂;及 可旋转启动构件,被联结至该锁存臂,该可旋转启 动构件具有实质上沙漏型之凸键槽,适用于接受一 凸键,如此当该凸键插入该凸键槽时,该可旋转启 动构件可藉由给予该凸键一转动而旋转,该实质上 沙漏型之凸键槽具有一对相对侧部,该对相对侧部 各自具有向内导向之凸面形状。 11.如申请专利范围第10项之容器,其中该凸键槽系 由耐磨材料所形成。 12.如申请专利范围第10项之容器,其中该凸键槽系 由导电性材料所制成。 13.一种晶圆容器,包括: 外壳部份,至少具有顶部、底部、一对相对侧部、 背部、开启前部、及封闭该开启前部之门,该门包 括: 门底盘;及 至少一第一锁存机构,该锁存机构包括: 至少一第一锁存臂;及 可旋转启动构件,被联结至该锁存臂,该可旋转启 动构件具有实质上沙漏型之凸键槽,适用于接受一 凸键,如此当该凸键插入该凸键槽时,该可旋转启 动构件可藉由给予该凸键一转动而旋转,该实质上 沙漏型之凸键槽具有一对相对侧部,该对相对侧部 各自具有向内导向之背斜形状。 14.如申请专利范围第13项之容器,其中该凸键槽系 由耐磨材料所形成。 15.如申请专利范围第13项之容器,其中该凸键槽系 由导电性材料所形成。 16.一种晶圆输送容器,包括: 外壳部份,至少具有顶部、底部、一对相对侧部、 背部、开启前部、及封闭该开启前部之门,该门包 括: 门底盘;及 至少一第一锁存机构,该锁存机构包括: 至少一第一锁存臂;及 可旋转凸轮构件,被联结至该锁存臂,该凸轮构件 具有一凸键槽适用于接受一凸键,如此当该凸键插 入该凸键槽时,该可旋转凸轮构件可藉由给予该凸 键一转动而旋转,该凸键槽具有一对相对末端,该 凸键槽进一步具有在末端的中间处之狭窄部份。 17.如申请专利范围第16项之容器,其中该凸键槽系 实质上为沙漏型。 18.如申请专利范围第17项之容器,其中该实质上沙 漏型之凸键槽具有一对相对侧部及一对相对末端, 该相对之成对侧部各自具有被装设在二向外斜角 部份之间的中心部份,且该中心部份实质上被定向 垂直于该相对末端。 19.如申请专利范围第17项之容器,其中该实质上沙 漏型之凸键槽具有一对相对侧部,该对相对侧部各 自具有向内导向之背斜形状。 20.如申请专利范围第17项之容器,其中该凸键槽系 由耐磨材料所形成。 21.如申请专利范围第17项之容器,其中该凸键槽系 由导电性材料所形成。 22.一种晶圆容器,包括: 外壳部份,至少具有顶部、底部、一对相对侧部、 背部、开启前部、及封闭该开启前部之门,该门包 括: 门底盘;及 至少一第一锁存机构,该锁存机构包括: 至少一第一锁存臂; 可旋转启动构件,被联结至该锁存臂,该可旋转启 动构件具有凸键槽,适用于接受一凸键,如此当该 凸键插入该凸键槽时,该可旋转启动构件可藉由给 予该凸键一转动而旋转;及 用以减少因嵌入、旋转及自该凸键槽移除凸键而 产生之微粒的手段。 23.如申请专利范围第22项之容器,其中该用以减少 因嵌入、旋转及自该凸键槽移除凸键而产生之微 粒的手段包括该凸键槽具有实质上之沙漏形状。 24.如申请专利范围第23项之容器,其中该实质上沙 漏型之凸键槽具有一对相对侧部及一对相对末端, 该相对之成对侧部各自具有被装设在二向外斜角 部份之间的中心部份,且该中心部份实质上被定向 垂直于该相对末端。 25.如申请专利范围第23项之容器,其中该实质上沙 漏型之凸键槽具有一对相对侧部,该对相对侧部各 自具有向内导向之凸面形状。 26.如申请专利范围第23项之容器,其中该实质上沙 漏型之凸键槽具有一对相对侧部,该对相对侧部各 自具有向内导向之背斜形状。 图式简单说明: 图1系一典型半导体晶圆运输容器的立体图。 图2系晶圆载具门之立体图,显示锁存机构被装设 在门中。 图3系锁存机构之局部立体图,显示凸键及凸键槽 。 图4系一矩形凸键槽之顶部平面图,显示被装设于 其内之凸键。 图5系一矩形凸键槽之顶部平面图,显示被装设于 其内之凸键,且该凸键系位于被旋转之后的使用位 置中。 图6系本发明之目前最佳具体例的沙漏型凸键槽之 顶部平面图。 图7系本发明之沙漏型凸键槽的另一具体例之顶部 平面图。 图8系本发明之沙漏型凸键槽的进一步可选择具体 例之顶部平面图。 |
