静电吸附电极的修补方法

摘要

本发明的课题是在于提供一种可简易且适当地进行静电吸附电极的破损部位的修补之修补方法。其解决手段是切削裂纹100的周围，将凹部51形成倾斜状。其次，利用溶射装置202，以能够填埋凹部51的方式溶射绝缘物60。其次，切削被埋入于凹部51的绝缘物60的隆起部份而使表面平坦化，藉此形成修补被膜61。