基板洗净装置

摘要

本发明之课题在提供一种提升生产性之基板洗净装置。本发明之基板洗净装置系包含：混合气体及药液而形成雾滴，且将雾滴喷射在基板上之一喷射喷嘴；将药液供给至喷射喷嘴之一药液供给部；将气体供给至喷射喷嘴之一气体供给部；以及与气体供给部相连结且使气体温度上昇的一加热部。