| 发明名称 |
含聚醚胺之抛光组合物 |
| 摘要 |
本发明之化学-机械抛光系统包含抛光成分、液体载剂及聚醚胺。本发明之方法包含用上述抛光系统以化学-机械抛光基板。 |
| 申请公布号 |
TW200811276 |
申请公布日期 |
2008.03.01 |
| 申请号 |
TW096111455 |
申请日期 |
2007.03.30 |
| 申请人 |
卡博特微电子公司 |
发明人 |
杰佛瑞 戴萨;保罗 芬尼;希利蓝 安卓;提摩西 强斯;辛云表;王力 |
| 分类号 |
C09K3/14(2006.01);H01L21/304(2006.01);B24B37/00(2006.01) |
主分类号 |
C09K3/14(2006.01) |
| 代理机构 |
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代理人 |
陈长文 |
| 主权项 |
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| 地址 |
美国 |
