| 发明名称 |
具有拥有电子吸引官能性的硷添加剂之倍半矽氧烷树脂系统(二) SILSESQUIOXANE RESIN SYSTEMS WITH BASE ADDITIVES BEARING ELECTRON-ATTRACTING FUNCTIONALITIES |
| 摘要 |
以倍半矽氧烷为主之组成物其含有(a)倍半矽氧烷树脂其含有HSiO3/2单位及RSiO3/2单位，其中R为酸可解离基，及(b)7-二乙基胺基-4-甲基香豆素。该以倍半矽氧烷为主之组成物可用作为正性光阻组成物用来于基材上形成图样化结构，特别可用于多层(亦即双层)193奈米及157奈米微影术应用用途。 |
| 申请公布号 |
TW200811224 |
申请公布日期 |
2008.03.01 |
| 申请号 |
TW096123481 |
申请日期 |
2007.06.28 |
| 申请人 |
陶氏康宁公司;东京应化工业股份有限公司 TOKYO OHKA KOGYO CO., LTD. 日本 |
发明人 |
胡山林;摩耶 |
| 分类号 |
C08G77/04(2006.01);C08G77/12(2006.01);C08L83/04(2006.01);C08K5/18(2006.01);C08K5/10(2006.01);G03F7/075(2006.01) |
主分类号 |
C08G77/04(2006.01) |
| 代理机构 |
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代理人 |
恽轶群;陈文郎 |
| 主权项 |
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| 地址 |
美国 |
