含金刚烷结构之聚合性化合物、其制造方法及树脂组合物

摘要

本发明提供一种聚合性化合物、其制造方法、含有使用该聚合性化合物而获得之聚合物的光阻组合化、热固性树脂组合物、及光硬化性树脂组合物，上述聚合性化合物包含具有下述通式(1)所示结构之含氟取代基(Z)、金刚烷结构及聚合性基团(A)。藉由使用本发明之金刚烷结构之聚合性化合物及其树脂组合物，在光微影领域方面，于液浸曝光法中，具有抑制浸液介质浸透，并使乾式蚀刻耐受性提高之效果，于奈米压印法中，可减少对模型之附着，并使乾式蚀刻耐受性提高。