用于金属互连之电介质隔片及其形成方法

摘要

描述包含电介质隔片的复数个金属互连以及形成此种电介质隔片的方法。在一实施例中，与附近的金属互连邻接之电介质隔片互不连接。在另一实施例中，电介质隔片可提供未完全着底之通孔有效地着底的区域。