| 摘要 |
本发明提供一种新颖的悬臂梁量测方法，主要应用于扫描探针显微术。本发明之光路使用市售之CD、DVD光碟机读取头作为主要架构，将扫描探针显微术中所使用之探针悬臂梁置于光学读取头之雷射光焦点上，使用光学读取头之对焦讯号(Focus Error Signal)侦测悬臂梁于雷射光轴方向之位移，藉由悬臂梁之位移讯号可得知探针之位置以进行接触、非接触、轻敲模式之扫描。光学读取头不限于CD、DVD，其他量产之电脑光碟机读取头如Blu-Ray(BD)或High Density Digital Versatile Disc(HD-DVD)。凡是能产生对焦误差讯号之读取头皆可成为本发明之光路。 |
