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发明名称
用于光阻之抗反射组合物
摘要
本发明系关于一种用于光阻层之抗反射涂料组合物,其包含聚合物、交联剂及酸产生剂,其中该聚合物包含至少一种具有结构1之单元,其中:A为非芳族键联部分;R'及R"系独立地选自氢、Z及W-OH,其中Z为(C1-C20)烃基部分且W为(C1-C20)烃基键联部分;且Y'独立地为(C1-C20)烃基键联部分。本发明进一步系关于一种用于使该抗反射涂料组合物成像之方法。
申请公布号
TW200811602
申请公布日期
2008.03.01
申请号
TW096125444
申请日期
2007.07.12
申请人
AZ电子材料股份有限公司
发明人
吴恒鹏;向中;庄弘;宣姜惠;殷建;姚晖蓉;路平煌
分类号
G03F7/11(2006.01);H01L21/027(2006.01)
主分类号
G03F7/11(2006.01)
代理机构
代理人
陈长文
主权项
地址
美国
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