| 主权项 |
1.一种固体摄像装置之制造方法,其包含: 在摄像部之基板上形成受光部之步骤; 在上述基板之上层形成在上述受光部之周缘隆起 之形状之遮光膜之步骤; 在上述遮光膜上形成光学透明之绝缘膜之步骤; 使用深蚀刻(etch back)加工上述绝缘膜,在上述受光 部之周缘部之上述遮光膜之侧壁上形成侧壁绝缘 膜之步骤; 在上述遮光膜上形成在对应于上述受光部之位置 上具有遮罩开口之遮罩层之步骤;及 以上述侧壁绝缘膜及上述遮罩层作为蚀刻遮罩,蚀 刻上述遮光膜,形成使上述受光部露出之开口部之 步骤。 2.如请求项1之固体摄像装置之制造方法,其中在形 成上述受光部之步骤后、形成上述遮光膜之步骤 前,进一步包含在上述基板之上述受光部除外之区 域上形成电极之步骤; 形成上述遮光膜之步骤中,形成被覆上述受光部及 上述电极之上述遮光膜。 3.如请求项2之固体摄像装置之制造方法,其中上述 电极系传输电极。 4.如请求项2之固体摄像装置之制造方法,其中形成 上述电极之步骤中,形成单层或复数层之上述电极 。 5.如请求项1之固体摄像装置之制造方法,其中形成 上述开口部之步骤中,除去上述侧壁绝缘膜下之上 述遮光膜。 6.如请求项1之固体摄像装置之制造方法,其中形成 上述开口部之步骤中,形成矩形之上述开口部。 7.如请求项1之固体摄像装置之制造方法,其中形成 上述开口部之步骤中,以上述侧壁绝缘膜及上述遮 罩层作为蚀刻遮罩,各向同性蚀刻上述遮光膜。 8.如请求项1之固体摄像装置之制造方法,其中形成 上述遮光膜之同时,在上述摄像部之周边部之上述 基板上形成监视用遮光膜; 形成上述遮罩层之同时,在上述监视用遮光膜上形 成具有遮罩开口之监视用遮罩层; 蚀刻上述遮光膜之步骤中,藉由监视形成于上述监 视用遮光膜上之开口部之宽度,管理使上述受光部 露出之上述开口部之宽度。 9.一种固体摄像装置,其包含: 形成于基板上之受光部; 形成于上述基板上,在对应于上述受光部之位置上 具有开口部之遮光膜;及 沿上述开口部之边缘,形成于上述遮光膜之侧壁上 部之光学透明之侧壁绝缘膜; 上述侧壁绝缘膜下之上述遮光膜被除去。 10.如请求项9之固体摄像装置,其中上述基板上尚 具有形成于上述受光部除外之区域之电极; 上述遮光膜以被覆上述电极之方式形成。 11.如请求项10之固体摄像装置,其中上述电极系传 输电极。 12.如请求项10之固体摄像装置,其中上述电极由单 层或复数层所形成。 13.如请求项9之固体摄像装置,其中具有被覆上述 遮光膜之层间绝缘膜; 上述侧壁绝缘膜下之区域由上述层间绝缘膜所填 埋。 14.如请求项9之固体摄像装置,其中上述遮光膜之 开口部系矩形。 15.一种照相机,其包含: 固体摄像装置; 在上述固体摄像装置之摄像面上使光成像之光学 系统;及 对来自上述固体摄像装置之输出信号进行特定之 信号处理之信号处理电路; 上述固体摄像装置包含: 形成于基板上之受光部; 形成于上述基板上,在对应于上述受光部之位置上 具有开口部之遮光膜;及 沿上述开口部之边缘,形成于上述遮光膜之侧壁上 部之光学透明之侧壁绝缘膜; 上述侧壁绝缘膜下之上述遮光膜被除去。 16.如请求项15之照相机,其中上述基板上尚具有形 成于上述受光部除外之区域之电极; 上述遮光膜以被覆上述电极之方式形成。 17.如请求项16之照相机,其中上述电极系传输电极 。 18.如请求项16之照相机,其中上述电极由单层或复 数层所形成。 19.如请求项15之照相机,其中 具有被覆上述遮光膜之层间绝缘膜; 上述侧壁绝缘膜下之区域由上述层间绝缘膜所填 埋。 20.如请求项15之照相机,其中上述遮光膜之开口部 系矩形。 图式简单说明: 图1(A)、(B)系先前例之固体摄像装置制造之步骤剖 面图。 图2(A)、(B)系先前例之固体摄像装置制造之步骤剖 面图。 图3(A)、(B)系先前例之固体摄像装置制造之步骤剖 面图。 图4系用于指出先前例之固体摄像装置制造之问题 点的图,(A)系遮光膜之平面图,(B)系遮光膜之剖面 图。 图5系用于指出先前例之固体摄像装置制造之其它 问题点的图,(A)系遮光膜之平面图,(B)系遮光膜之 剖面图。 图6系揭示与本实施方式相关之固体摄像装置一例 之概略构成图。 图7(A)系摄像部之要部平面图,(B)系(A)之A-A'线剖面 图。 图8系揭示传输电极之布置之平面图。 图9(A)、(B)系与本实施方式相关之固体摄像装置制 造之步骤剖面图。 图10(A)、(B)系与本实施方式相关之固体摄像装置 制造之步骤剖面图。 图11(A)、(B)系与本实施方式相关之固体摄像装置 制造之步骤剖面图。 图12(A)、(B)系与本实施方式相关之固体摄像装置 制造之步骤剖面图。 图13(A)、(B)系与本实施方式相关之固体摄像装置 制造步骤之平面图。 图14(A)、(B)系与本实施方式相关之固体摄像装置 制造之步骤剖面图。 图15(A)、(B)系与本实施方式相关之固体摄像装置 制造之步骤剖面图。 图16(A)、(B)系与本实施方式相关之固体摄像装置 制造之步骤剖面图。 图17(A)、(B)系与本实施方式相关之固体摄像装置 制造步骤之平面图。 图18(A)、(B)系与本实施方式相关之固体摄像装置 制造之步骤剖面图。 图19系揭示与本实施方式相关之应用固体摄像装 置之照相机之概略构成之方块图。 |
