双重金属镶嵌制程用之动态量测取样

摘要

本发明提供一种监控双重金属镶嵌制程之方法，包括：针对一金属镶嵌制程计算一前处理信赖度舆图，该前处理信赖度舆图包括针对该晶圆上一第1组晶粒之信赖度资料。当前处理信赖度舆图中一个或一个以上值未落于针对该金属镶嵌制程所建立之信赖度极限以内，则针对该金属镶嵌制程建立一扩张的前处理量测配方。当前处理信赖度舆图中一个或一个以上值落于针对该金属镶嵌制程所建立之信赖度极限以内，则针对该金属镶嵌制程建立一减缩的前处理量测配方。