处理基板的装置及其方法

摘要

一种基板处理装置包括：一具有夹盘的基板支撑单元，用于装载基板；一开顶式底部腔室，围绕于夹盘周围；一顶部腔室，用于打开与关闭底部腔室的顶部，当顶部腔室与外界隔绝时，使基板乾燥；以及一直接注射喷嘴，装配于顶部腔室中，用于当底部腔室的顶部关闭时，将流体直接地注入至基板。使用此基板处理装置，能使提升整个基板的乾燥效率，阻绝外界污染物，以及抑制氧化层的生成。