将欲利用光学量测方式检查之结构予以特征化之轮廓模型的评估

摘要

藉由显示将轮廓模型予以特征化的轮廓参数组，而评估将欲利用光学量测方式检查之结构予以特征化的轮廓模型。每一轮廓参数具有其一数值范围。对于具有一数值范围的每一轮廓参数，显示用以在此数值范围内选择轮廓参数之数值的调整工具。使用光学量测工具量测的量测绕射信号被显示。根据轮廓参数值所产生的模拟绕射信号被显示，其中此轮廓参数值系使用轮廓参数用的调整工具而选择。将模拟绕射信号与量测的绕射信号重叠。