三轴型陀螺仪

摘要

本发明系有关于一种三轴型陀螺仪，其主要系于载体上之基座间分别设有第一、二、三质量块，且对应该第一、二、三质量块分别设有第一、二、三感测器，以能藉由平面的旋转运动(Outer-ring与Inner-disk)感测X与Y轴的角动量变化，而藉由平移运动(Translation Proof Mass)感测Z轴向的角动量变化，加上利用了阵列式质量块作为多轴的致动与输出，亦可有效地提高陀螺仪的解析度，以满足例如汽车之惯性导航系统(INS)在实际上及下世代所须高解析度之要求，而更增加其整体实用价值性者。