曝光装置

摘要

本发明提供一种曝光装置，系藉由有效率地进行光罩M及台板5之黏着性尘埃的去除，以实现良率高之曝光。第1清洁头1系安装在搬入手3之曝光部20侧，在进行搬入手3之搬入动作时，刮刀11系在预定位置延伸出来且接触台板5之上面，一面随着搬入手3之移动而移动在台板5上，一面去除尘埃。第2清洁头2系安装在搬出手4之曝光部20侧，在进行搬出手4之往曝光部20之移动及／或搬出动作时，进行光罩M之除尘。