用于ALD与CVD之批式处理平台BATCH PROCESSING PLATFORM FOR ALD AND CVD

摘要

用于ALD或CVD制程的批式处理平台具有高产量和最小占据面积。在一实施例中，处理平台包含一大气传送区、至少一具缓冲室与架台的批式处理室、和一置于传送区内的传送机械装置，其中传送机械装置具有至少一含有多个基材搬运叶片的基材传送臂。平台可包括二批式处理室，二者间配有维修道，供进入传送机械装置与沉积站进行维修之用。在另一实施例中，处理平台包含至少一批式处理室、一用来传送基材于FOUP与处理匣之间的基材传送机械装置、和一含有匣搬运机械装置的匣传送区。匣搬运机械装置可为线性促动器或旋转桌。