发明名称 METHOD FOR FABRICATING AN INTEGRATED CIRCUIT ON A SEMICONDUCTOR SUBSTRATE
摘要
申请公布号 KR100809173(B1) 申请公布日期 2008.02.29
申请号 KR20060136848 申请日期 2006.12.28
申请人 发明人
分类号 H01L21/324 主分类号 H01L21/324
代理机构 代理人
主权项
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