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发明名称 ION IMPLANTING APPARATUS
摘要
申请公布号 KR100809138(B1) 申请公布日期 2008.02.29
申请号 KR20050038272 申请日期 2005.05.09
申请人 发明人
分类号 H01J37/317;H01L21/265;G01N21/00 主分类号 H01J37/317
代理机构 代理人
主权项
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