带加热器的静电吸盘以及带加热器的静电吸盘的制造方法

摘要

本发明提供吸附特性、热均匀性和耐绝缘破坏性优良的带加热器的静电吸盘。带加热器的静电吸盘(1)具备由包含氧化铝的烧结体做成的基体(2)、在基体中的上侧设置的ESC电极(3)、埋在基体中的下侧而设置的电阻发热体(4)，基体由从ESC电极到基体的上表面(2a)的电介质层(21)、从ESC电极到基体的下表面(2b)的支撑部件(22)构成。支撑部件在与电介质层相接的ESC电极附近区域(22a)和比该ESC电极附近区域(22a)更下方的下方区域(22b)的碳含量不同，电介质层中的碳含量在100wtppm以下，ESC电极附近区域的碳含量在0.13wt％以下，下方区域的碳含量在0.03wt％以上，并且，该ESC电极附近区域的碳含量比下方区域的碳含量更小。电阻发热体(4)含有铌或铂。

主权项

1.一种带加热器的静电吸盘，具备由包含氧化铝的烧结体构成的基体、在该基体中的上部一侧设置的静电吸盘电极、在基体中的下部一侧埋入设置的电阻发热体，所述基体由从静电吸盘电极到基体上表面的电介质层、从静电吸盘电极到基体下表面的支撑部件构成，其特征在于，所述支撑部件在与所述电介质层相接的静电吸盘电极附近区域和比该静电吸盘电极附近区域更下方的下方区域的碳含量不同，所述电介质层中的碳含量在100wtppm以下，所述支撑部件的所述静电吸盘电极附近区域的碳含量在0.13wt％以下，所述支撑部件的所述下方区域的碳含量在0.03wt％以上，并且，所述静电吸盘电极附近区域的碳含量比所述下方区域的碳含量更小，所述电阻发热体含有铌或铂。