基板保持装置

摘要

本发明提供一种有效防止涂敷膜上生斑的基板保持装置。基板保持装置具有：形成有多个吸附孔(1b)以及连通吸附孔之间的槽(1a)，且对基板(2)进行吸附并保持的平台(1)；一端侧与上述平台的吸附孔连通、另一端侧与真空源连通的真空阀门(5)；一端侧与上述平台的吸附孔连通、另一端侧与大气连通的大气阀门(6)；一端侧与上述平台的吸附孔连通、另一端侧与吹扫气体源连通的吹扫气体阀门(7)；控制真空阀门、大气阀门以及吹扫气体阀门的开关的阀门控制装置(8)。在平台上对基板进行吸附保持时，利用真空吸附将基板吸附并保持在平台上后，使平台的吸附孔转换到大气状态，在大气状态下进行各种处理。

主权项

1.一种基板保持装置，在吸附并保持基板的承载面上开设有多个吸附孔，其特征在于，具有：真空阀门，一端侧与上述承载面上的吸附孔连通，而另一端侧与真空源连通；大气开放阀门，一端侧与上述承载面上的吸附孔连通，而另一端侧与大气连通；以及阀门控制装置，控制上述真空阀门和上述大气开放阀门的开关。