发明名称 |
Vacuum processing apparatus |
摘要 |
|
申请公布号 |
EP1156135(B1) |
申请公布日期 |
2008.02.27 |
申请号 |
EP20010112150 |
申请日期 |
2001.05.17 |
申请人 |
NIHON SHINKU GIJUTSU KABUSHIKI KAISHA |
发明人 |
MASUDA TAKESHI;YAMADA TAKAKAZU;UEMATSU MASAKI;SUU KOUKOU |
分类号 |
C23C16/44;B01J3/00;B01J3/02;B01J19/00;B01J19/08;C23C14/54;C23C14/56;C23C16/52;C23C16/54;C23F4/00;C30B25/14;H01L21/205;H01L21/302 |
主分类号 |
C23C16/44 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|