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经营范围
发明名称
BEAM STOP AND BEAM TUNING METHODS
摘要
申请公布号
EP1891657(A2)
申请公布日期
2008.02.27
申请号
EP20060772086
申请日期
2006.06.02
申请人
AXCELIS TECHNOLOGIES, INC.
发明人
VANDERPOT, JOHN;HUANG, YONGZHANG
分类号
H01J37/244
主分类号
H01J37/244
代理机构
代理人
主权项
地址
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