制作液晶显示器的薄膜晶体管的方法

摘要

本发明涉及一种利用三道光罩制作薄膜晶体管液晶显示器的方法，其步骤包括在透明衬底上依次形成一个透明导电层、第一绝缘层、与第二金属层；利用黄光半影与蚀刻技术在每一像素区域中形成源极导线区、漏极导线区、与像素电极区域，以及在每一像素区域边界形成多条数据信号线；在衬底上形成一个半导体层与第二绝缘层；利用黄光蚀刻形成半导体通道区以及多个接触孔于源极导线区、漏极导线区、与数据信号线上；最后在衬底上形成第三金属层与第三绝缘层；并利用黄光蚀刻形成扫描信号线与栅极线。

主权项

1.一种制作薄膜晶体管液晶显示器的方法，其中该薄膜晶体管液晶显示器中包括多条数据信号线与多条扫描信号线，每两条相邻的该数据信号线与每两条相邻的该扫描信号线间界定出每一像素区域，在该一像素区域中包括一个薄膜晶体管区域以及一个透明像素电极区域，该方法包括以下步骤：(a)提供一个透明衬底；(b)在该透明衬底的第一表面上依次形成一个透明导电层、第一绝缘层以及第二金属层；(c)利用半色调光刻与蚀刻，在每一该薄膜晶体管区域中定义并形成具有该第二金属层的源极导线区与漏极导线区，在该像素区域中定义并形成具有该透明导电层的该像素电极区域、以及定义并形成具有该第二金属层的数据信号线；(d)在该透明衬底的该第一表面上依次形成一个半导体层与第二绝缘层；(e)利用黄光微影与蚀刻，在每一该薄膜晶体管区域中定义并形成该晶体管的一个半导体通道区、以及在该源极导线区、该漏极导线区、与该数据信号线上定义并形成多个接触孔；(f)在该透明衬底的该第一表面上依次形成第三金属层与第三绝缘层；以及(g)利用黄光微影与蚀刻定义并形成具有该第三金属层的扫描信号线、多条与该扫描信号线相连的栅极线、多条连接该源极导线区与该数据信号线的第一导线、多条连接该漏极导线区与该像素电极区域的第二导线。