发明名称 SILICON WAFER AND METHOD FOR PRODUCING SILICON SINGLE CRYSTAL
摘要
申请公布号 EP1275755(A4) 申请公布日期 2008.02.27
申请号 EP20010915814 申请日期 2001.03.27
申请人 SHIN-ETSU HANDOTAI CO., LTD 发明人 HOSHI, RYOJI;FUSEGAWA, IZUMI;OHTA, TOMOHIKO;MAEDA, SHIGEMARU
分类号 C30B29/06;C30B15/00;C30B15/20;H01L21/208;(IPC1-7):C30B29/06 主分类号 C30B29/06
代理机构 代理人
主权项
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