有机发光元件的制造方法及其结构

摘要

本发明提供一种有机发光元件的制造方法，首先形成一平坦层于一基底上，以覆盖一薄膜晶体管。然后，于该平坦层中形成一第二接触孔以及一凹槽，其中该第二接触孔露出该薄膜晶体管的源或漏极电极层，该凹槽位于该接触孔上方且对应于一预定阳极层的图案。接着，形成一阳极层于该平坦层上，以填满该接触孔以及该凹槽，再将该凹槽之外的该阳极层去除。最后，进行一平坦化处理，以使该阳极层与该平坦层的表面高度平齐。

主权项

1.一种有机发光元件的制造方法，包括下列步骤：提供一基底；形成一薄膜晶体管于该基底上，其中该薄膜晶体管至少包括一源或漏极电极层；形成一平坦层于该基底上，以覆盖该薄膜晶体管；形成一接触孔以及一凹槽于该平坦层中，其中该接触孔露出该源或漏极电极层，该凹槽位于该接触孔上方且对应于一预定阳极层的图案；形成一阳极层于该平坦层上，以填满该接触孔以及该凹槽；将该凹槽以外的该阳极层去除；以及进行一平坦化处理，以使该阳极层与该平坦层的表面高度平齐。