| 发明名称 | 具有电子发射体的准分子激光器 | ||
| 摘要 | 本文描述用于准分子激光器的设备、系统和方法，所述准分子激光器具有激光气体和在施加发射电压时发射电子的电子发射体。 | ||
| 申请公布号 | CN101133528A | 申请公布日期 | 2008.02.27 |
| 申请号 | CN200680006520.7 | 申请日期 | 2006.01.05 |
| 申请人 | 英特尔公司 | 发明人 | M·斯金纳;M·诺伊斯塔德特 |
| 分类号 | H01S3/038(2006.01) | 主分类号 | H01S3/038(2006.01) |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人 | 曾祥夌;张志醒 |
| 主权项 | 1.一种设备，包括：第一电极；第二电极，与第一电极隔开，包括适合于在施加发射电压时发射电子的多个电子发射体；和激光气体，置于第一电极和第二电极之间。 | ||
| 地址 | 美国加利福尼亚州 | ||