| 发明名称 | 电容传感器及其制造方法 | ||
| 摘要 | 一种电容传感器的制造方法，包括的步骤为：(a)沉积将成为隔膜的膜，所述隔膜形成移动电极；(b)把将成为隔膜的膜加热到第一温度；及(c)沉积将成为板的膜，所述板形成与移动电极相对的静止电极。电容传感器的隔膜和板的应力被优化。 | ||
| 申请公布号 | CN101132652A | 申请公布日期 | 2008.02.27 |
| 申请号 | CN200710142377.0 | 申请日期 | 2007.08.22 |
| 申请人 | 雅马哈株式会社 | 发明人 | 铃木民人 |
| 分类号 | H04R19/01(2006.01);H04R31/00(2006.01) | 主分类号 | H04R19/01(2006.01) |
| 代理机构 | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人 | 彭久云;葛青 |
| 主权项 | 1.一种用于制造电容传感器的方法，包括的步骤为：(a)沉积将成为隔膜的膜，所述隔膜形成移动电极；(b)把将成为隔膜的膜加热到第一温度；及(c)沉积将成为板的膜，所述板形成与移动电极相对的静止电极。 | ||
| 地址 | 日本静冈县 | ||