发明名称 |
单晶炉的保温装置 |
摘要 |
本发明涉及一种单晶炉的保温装置。该装置具有热屏、保温罩和保温炉底。保温罩为碳纤维或石墨制成的中空柱体,保温罩设置在保温炉底的上端,热屏设置在保温罩的上端。本发明的碳纤维制成的保温罩和保温炉底,大大降低了单晶炉的使用功率,相对于现有的单晶炉可节能20%至30%;同时使单晶炉中的熔硅和晶体具有较好的纵向温度梯度,利于提高单晶硅晶体生长的成品率。当保温炉底上还具有碳毡制成的隔温层时,能进一步提高保温性能。当在隔温层上设置压片,在隔温层的轴孔和电源孔处设置空心隔离圆柱时,能提高的受压强度,同时隔温层中的碳毡不易变形,延长了使用寿命。当保温裹层裹绕在保温罩外侧时,能提高单晶炉侧面的保温性能。 |
申请公布号 |
CN100371506C |
申请公布日期 |
2008.02.27 |
申请号 |
CN200510059323.9 |
申请日期 |
2005.03.28 |
申请人 |
荀建华 |
发明人 |
荀建华 |
分类号 |
C30B15/00(2006.01);C30B15/14(2006.01) |
主分类号 |
C30B15/00(2006.01) |
代理机构 |
北京三聚阳光知识产权代理有限公司 |
代理人 |
翁坚刚 |
主权项 |
1.一种单晶炉的保温装置,具有圆柱形保温罩(4)和置于保温罩(4)顶端的倒置圆锥台形的热屏(1),保温罩(4)底端设有保温炉底(7);所述的保温罩(4)为碳纤维或石墨制成的中空柱体;其特征在于:保温炉底(7)为由石墨制成,保温炉底(7)具有底盘(71)、槽外壁柱(72)和槽内壁柱(73);槽外壁柱(72)和槽内壁柱(73)垂直于底盘(71),槽外壁柱(72)与槽内壁柱(73)之间为槽(74),槽(74)内由碳毡填满。 |
地址 |
213223江苏省金坛市尧塘镇汤庄东大街17号 |