发明名称 LEVITATION TRANSPORTATION DEVICE AND LEVITATION TRANSPORTATION METHOD
摘要
申请公布号 EP1770032(A4) 申请公布日期 2008.02.27
申请号 EP20050753450 申请日期 2005.06.22
申请人 KABUSHIKI KAISHA WATANABE SHOKO;TODA, MASAYUKI 发明人 TODA, MASAYUKI;UMEDA, MASARU
分类号 B65G51/03;B65G47/28;B65G49/07;H01L21/68 主分类号 B65G51/03
代理机构 代理人
主权项
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