用于半导体制程中的金属防腐蚀保护液

摘要

本发明是关于一种用于半导体制程中金属防腐蚀的保护液。其包括一种或多种能够与金属材料发生作用在金属表面形成保护膜的有机酸类化学添加剂。本发明的保护液能够在晶片处理工艺的间隙或运输过程中提供有效的保护，大大降低金属材料的表面点蚀，减低表面腐蚀程度，甚至是在停机状态时都能提供有效的保护。从而降低缺陷，提高产品良率，增加收益率。

主权项

1.一种用于半导体中金属防腐蚀的保护液，其特征在于：包括一种载体，还包括一种或多种有效防止金属表面腐蚀的有机酸类化学添加剂。