| 发明名称 | 适合于酸生成剂的盐以及含有该盐的化学放大型正性抗蚀剂组合物 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种式(I)表示的盐，其中，X表示含有至少一个二价脂环族烃基的C3－C30二价基团，并且在所述C3－C30二价基团中的至少一个－CH<SUB>2</SUB>－可以被－O－或－CO－取代；Y表示可以被选自C1－C6烷氧基、C1－C4全氟烷基、C1－C6羟烷基、羟基和氰基中的至少一个基团取代的C3－C30环烃基，并且在所述C3－C30环烃基中的至少一个－CH<SUB>2</SUB>－可以被－O－或－CO－取代；Q<SUP>1</SUP>和Q<SUP>2</SUP>各自独立地表示氟原子或C1－C6全氟烷基，并且A<SUP>+</SUP>表示有机抗衡离子。 | ||
| 申请公布号 | CN101130510A | 申请公布日期 | 2008.02.27 |
| 申请号 | CN200710142634.0 | 申请日期 | 2007.08.20 |
| 申请人 | 住友化学株式会社 | 发明人 | 重松淳二;吉田勋;原田由香子;末次益实 |
| 分类号 | C07C321/12(2006.01);C07C323/10(2006.01);C07C309/17(2006.01);G03F7/039(2006.01) | 主分类号 | C07C321/12(2006.01) |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人 | 汪惠民 |
| 主权项 | 1.一种式(I)表示的盐：<img file="A2007101426340002C1.GIF" wi="742" he="200" />其中，X表示含有至少一个二价脂环族烃基的C3-C30二价基团，并且在所述C3-C30二价基团中的至少一个-CH<sub>2</sub>-可以被-O-或-CO-取代，Y表示可以被选自C1-C6烷氧基、C1-C4全氟烷基、C1-C6羟烷基、羟基和氰基中的至少一个基团取代的C3-C30环烃基，并且在所述C3-C30环烃基中的至少一个-CH<sub>2</sub>-可以被-O-或-CO-取代，Q<sup>1</sup>和Q<sup>2</sup>各自独立地表示氟原子或C1-C6全氟烷基，并且A<sup>+</sup>表示有机抗衡离子。 | ||
| 地址 | 日本国东京都 | ||