测试装置、测试方法、电子元件的生产方法、测试模拟器以及测试模拟方法

摘要

一种测试装置，利用测试由电子元件输出的多个输出讯号，各个发生变化的时序的相关性，而能以更高的精度来识别电子元件的良否。此测试装置将测试信号供给至电子元件，并将该电子元件输出的多个输出讯号来与期待值比较以测试电子元件。此测试装置包括：基准时序检测部，检测出一个输出讯号发生变化的现象；设定部，预先设定：由一个输出讯号发生变化到另一个输出讯号发生变化为止的最小时间；取入部，由检测出一个输出讯号发生变化时起，在已经过该最小时间的时序，取得另一个输出讯号之的值；以及识别部，取入部取得的该另一个输出讯号的值，与经过最小时间后的另一个输出讯号所应该取得的值不一致时，识别该电子元件为不良品。

主权项

1.一种测试装置，为一种在供给电子元件测试讯号的同时，将该电子元件对应于该测试讯号而输出的多个输出讯号，各个与期待值比较，以测试该电子元件是否进行所期待的动作的测试装置，其特征在于：该测试装置包括：基准时序检测部，检测出一个输出讯号已发生变化；设定部，预先设定：由该一个输出讯号发生变化到另一个输出讯号发生变化为止的最小时间；取入部，在该基准时序检测部检测出一个输出讯号发生变化起，在经过该最小时间的时序，取得上述的另一个输出讯号的值；以及识别部，在该取入部取得的上述的另一输出讯号的值，与在经过最小时间之后，上述的另一个输出讯号应取得的值不一致时，识别该电子元件为不良品。