| 发明名称 |
Emitter for an ion source |
| 摘要 |
An emitter for an ion source, such as a liquid metal alloy ion source (LMAIS). The emitter includes a binary alloy PrSi as a source material.
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| 申请公布号 |
US7335896(B2) |
申请公布日期 |
2008.02.26 |
| 申请号 |
US20050190043 |
申请日期 |
2005.07.26 |
| 申请人 |
ICT, INTEGRATED CIRCUIT TESTING GESELLSCHAFT FUR HALBLEITERPRUFTECHNIK MBH |
发明人 |
PILZ WOLFGANG;BISCHOFF LOTHAR |
| 分类号 |
H01J27/00;H01J27/26;H01J37/08 |
主分类号 |
H01J27/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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