发明名称 LITHOGRAPHY MASK BLANK
摘要
申请公布号 KR100805973(B1) 申请公布日期 2008.02.25
申请号 KR20057002058 申请日期 2005.02.04
申请人 发明人
分类号 G03F1/38;G03F1/32 主分类号 G03F1/38
代理机构 代理人
主权项
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