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经营范围
发明名称
CHEMICAL MECHANICAL POLISHING APPARATUS
摘要
申请公布号
KR100807046(B1)
申请公布日期
2008.02.25
申请号
KR20030084521
申请日期
2003.11.26
申请人
发明人
分类号
H01L21/304;B24B37/04;B24D7/14;B24D13/14
主分类号
H01L21/304
代理机构
代理人
主权项
地址
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