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经营范围
发明名称
Particle deposition system
摘要
申请公布号
KR100807080(B1)
申请公布日期
2008.02.25
申请号
KR20030101980
申请日期
2003.12.31
申请人
发明人
分类号
H01L21/66
主分类号
H01L21/66
代理机构
代理人
主权项
地址
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