石英玻璃坩埚

摘要

本发明系关于一种石英玻璃坩埚之改良方法，以及藉由此方法所制得之改良石英玻璃坩埚。此坩埚的表面上具有一层含有一种结晶促进剂之透明涂层。此方法包括将一种含有金属盐和烷氧矽烷寡聚物之部分水解物的混合溶液涂覆于坩埚的表面，并且予以加热以获得一种具有透明涂层的石英玻璃坩埚。结晶促进剂中含有一种分散在二氧化矽基体中的金属氧化物或是金属碳酸盐。

主权项

1.一种石英玻璃坩埚,包含一个透明涂层,其中该涂 层含有一种分散于该坩埚的整个或是部分内侧表 面和/或外侧表面之二氧化矽基体中的结晶促进剂 ,其中该坩埚系藉由将含有金属盐和烷氧矽烷寡聚 物之部分水解物的矽溶胶液体涂覆于坩埚表面,其 中矽溶胶液体含有0.01到15重量%的金属含量,以氧 化物为基准,以及0.5到30重量%的矽浓度,以二氧化 矽为基准,并且将经过矽溶胶液体的坩埚予以加热 ,而形成一种含有衍生自该金属盐之结晶促进剂的 透明涂层所获得。 2.如申请专利范围第1项之石英玻璃坩埚,该坩埚系 藉由将含有一种金属有机酸盐或一或多种镁、钙 、锶或钡金属碳酸盐的矽溶胶液体涂覆于坩埚表 面,并且将该涂布的矽溶胶液体予以加热而形成一 种含有金属氧化物或金属碳酸盐做为结晶促进剂 的透明涂层所获得。 3.如申请专利范围第1项之石英玻璃坩埚,其中坩埚 系用于制造矽单晶。