| 主权项 |
1.一种紫外线感测器,包括: 一基材,具有一主动区,其中该主动区适于吸收一 紫外线以产生电荷; 一第一电极,与该基材之该主动区电性接触,其中 该第一电极具有多个第一尖端;以及 一第二电极,与该基材之该主动区电性接触,其中 该第二电极具有多个第二尖端,且该第二电极与该 第一电极电性绝缘。 2.如申请专利范围第1项所述之紫外线感测器,其中 该基材包括矽基材、锗基材、磷化铟基材、砷化 镓基材,或碳化矽基材。 3.如申请专利范围第1项所述之紫外线感测器,其中 该第一电极与该第二电极配置于该基材的表面上 。 4.如申请专利范围第1项所述之紫外线感测器,其中 该第一电极与该第二电极嵌入该基材中。 5.如申请专利范围第1项所述之紫外线感测器,其中 该第一电极为一具有该些第一尖端的螺旋状电极, 而该第二电极为一具有该些第二尖端之螺旋状电 极。 6.如申请专利范围第1项所述之紫外线感测器,其中 该第一电极包括多个彼此电性连接且具有该些第 一尖端的环状电极,而该第二电极包括多个彼此电 性连接且具有该些第二尖端之环状电极。 7.如申请专利范围第1项所述之紫外线感测器,其中 该第一电极为一具有该些第一尖端之指状电极,而 该第二电极为一具有该些第二尖端之指状电极。 8.如申请专利范围第1项所述之紫外线感测器,更包 括一抗反射层,覆盖于该基材、该第一电极以及该 第二电极上。 9.如申请专利范围第8项所述之紫外线感测器,更包 括一滤光层,配置于该抗反射层上。 10.一种紫外线感测器,包括: 一基材; 一第一电极,配置于该基材上,其中该第一电极具 有多个第一尖端; 一第二电极,配置于该基材上,其中该第二电极具 有多个第二尖端,且该第二电极与该第一电极电性 绝缘;以及 一主动层,配置于该基材上,并与该第一电极以及 该第二电极电性接触,其中该主动层适于吸收一紫 外线以产生电荷。 11.如申请专利范围第10项所述之紫外线感测器,其 中该基材包括矽基材、锗基材、磷化铟基材、砷 化镓基材,或碳化矽基材。 12.如申请专利范围第11项所述之紫外线感测器,其 中该主动层之材质与该基材之材质相同。 13.如申请专利范围第10项所述之紫外线感测器,其 中该主动层覆盖于该基材、该第一电极以及该第 二电极上。 14.如申请专利范围第10项所述之紫外线感测器,其 中该第一电极与该第二电极覆盖于该主动层上。 15.如申请专利范围第10项所述之紫外线感测器,其 中该第一电极与该第二电极嵌入该主动层中。 16.如申请专利范围第10项所述之紫外线感测器,其 中该第一电极为一具有该些第一尖端的螺旋状电 极,而该第二电极为一具有该些第二尖端之螺旋状 电极。 17.如申请专利范围第10项所述之紫外线感测器,其 中该第一电极包括多个彼此电性连接且具有该些 第一尖端的环状电极,而该第二电极包括多个彼此 电性连接且具有该些第二尖端之环状电极。 18.如申请专利范围第10项所述之紫外线感测器,其 中该第一电极为一具有该些第一尖端之指状电极, 而该第二电极为一具有该些第二尖端之指状电极 。 19.如申请专利范围第10项所述之紫外线感测器,更 包括一抗反射层,配置于该主动层上。 20.如申请专利范围第19项所述之紫外线感测器,更 包括一滤光层,配置于该抗反射层上。 图式简单说明: 图1是依照本发明第一实施例之紫外线感测器的剖 面示意图。 图2A-图2C分别是不同之第一电极与第二电极的上 视示意图。 图3是不同基材对于不同波长的光线之吸收系数曲 线图。 图4A与图4B是依照本发明第二实施例之紫外线感测 器的剖面示意图。 图5是依照本发明第三实施例之紫外线感测器的剖 面示意图。 图6是依照本发明第四实施例之紫外线感测器的剖 面示意图。 图7A-图7E是依照本发明第五实施例之紫外线感测 器的剖面示意图。 图8A-图8E是依照本发明第六实施例之紫外线感测 器的剖面示意图。 |
