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发明名称 Verfahren zum Freisetzen von mikrohergestellten Oberflächenstrukturen in einem Epitaxiereaktor
摘要
申请公布号 DE60318545(D1) 申请公布日期 2008.02.21
申请号 DE20036018545 申请日期 2003.10.20
申请人 ROBERT BOSCH GMBH 发明人 LUTZ, MARKUS;PARTRIDGE, AARON
分类号 B81B3/00;B81C1/00 主分类号 B81B3/00
代理机构 代理人
主权项
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