| 发明名称 |
LADEARM FÜR LADUNGSVERSCHLUSS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE69637404(D1) |
申请公布日期 |
2008.02.21 |
| 申请号 |
DE1996637404 |
申请日期 |
1996.06.21 |
| 申请人 |
BROOKS AUTOMATION INC. |
发明人 |
MUKA, RICHARD S.;HOFMEISTER, CHRISTOPHER A. |
| 分类号 |
B65G1/00;B65G1/06;B25J9/06;B65G49/07;H01L21/00;H01L21/677 |
主分类号 |
B65G1/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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