Vorrichtung zum Heizen einer Probe

摘要

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Heizen einer Probe in einer Apparatur, in welcher ein Hochvakuum einstellbar ist. Diese Vorrichtung umfasst mindestens ein resistives Heizelement, mindestens eine Aufnahme für die Probe sowie mindestens eine das Heizelement und die Aufnahme für die Probe teilweise umgebende Abschirmung. Das Heizelement ist erfindungsgemäß von der Abschirmung durch mindestens ein Isolierstück aus einem bei 1000°C hochvakuumtauglichen Material beabstandet. Dadurch entfällt die Notwendigkeit, es mit einem nur begrenzt temperaturbeständigen Isoliermaterial zu ummanteln oder in der Vorrichtung zu verlöten. Im Ergebnis können höhere Temperaturen am Ort der Probe erreicht werden, und die Ausgasung von Verunreinigungen wird weitgehend unterbunden.