申请人 |
ALD VACUUM TECHNOLOGIES GMBH;GFE GESELLSCHAFT FUER ELEKTROMETALLURGIE MBH;GKSS-FORSCHUNGSZENTRUM GEESTHACHT GMBH |
发明人 |
BLUM, MATTHIAS;JARCZYK, GEORG;CHATTERJEE, ANITA;FUERWITT, WILLY;GUETHER, VOLKER;CLEMENS, HELMUT;DANKER, HEINZ;GERLING, RAINER;SASSE, FRIEDHELM;SCHIMANSKY, FRANK-PETER |