发明名称 ZUR BILDERZEUGUNG MIT TIEFER UV-STRAHLUNG GEEIGNETE PHOTORESISTZUSAMMENSETZUNG UND DIESE VERWENDENDES BILDERZEUGUNGSVERFAHREN
摘要
申请公布号 DE60129024(T2) 申请公布日期 2008.02.21
申请号 DE2001629024T 申请日期 2001.07.11
申请人 AZ ELECTRONIC MATERIALS USA CORP. 发明人 RAHMAN, M. DALIL;PADMANABAN, MUNIRATHNA;DAMMEL, RALPH R.
分类号 G03F7/039;C08F220/10;C08F222/06;C08F232/00;G03F7/004;G03F7/11;H01L21/027 主分类号 G03F7/039
代理机构 代理人
主权项
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