| 摘要 |
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Messung der Ähnlichkeit zweidimensionaler Bilder, wobei mindestens ein Bild mit einem Zusatzsignal behaftet ist, dessen Ortsabhängigkeit oder Symmetrieeigenschaften zumindest schätzungsweise bekannt sind. Erfindungsgemäß werden die Bilder derart in wechselseitig identische Teilbilder partitioniert, dass die Ausdehnung mindestens eines Teilbilds in Richtung des Gradienten des Zusatzsignals kleiner ist als die Ausdehnung dieses Teilbilds in der dazu senkrechten Richtung. Die Reilbilder werden separat verglichen und die Ergebnisse aller Vergleiche zum Messergebnis für die Ähnlichkeit zusammengeführt. Dadurch wird das Verfahren unempfindlich gegen Variationen des Zusatzsignals. Das Verfahren ist insbesondere für die Bestimmung von Defokussierung und Astigmatismus eines elektronenmikroskopischen Bildes geeignet. Hierbei kommt es darauf an, die Ähnlichkeit eines experimentell gemessenen Bildes mit simulierten Bildern zu vergleichen, die mit bestimmten Werten für Defokussierung und Astigmatismus generiert wurden.
|
